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硅片清洗機(jī)的工作原理和操作說明

更新時間:2022-07-25      瀏覽次數(shù):875
 
  硅片清洗機(jī)是利用超聲波清洗技術(shù),在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內(nèi)往復(fù)掃動,帶動清洗液形成細(xì)微回流,使工件污垢在被超聲剝離的同時迅速帶離工件表面,提高清洗效率。
 
  一、硅片清洗機(jī)的工作原理是什么
 
  1、真空脫氣,有效去除液體中氣體,且運(yùn)用拋動功能,增強(qiáng)超聲對工件表面油污和污垢的清洗能力,縮短清洗時間。
 
  2、洗籃轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu),重疊不可分拆的零件或形狀復(fù)雜的零件,也可做到均勻完整的清洗。
 
  3、減壓真空系統(tǒng),能吸出盲孔、縫隙及疊加零件之間的空氣,使超聲波在減壓的狀態(tài)下產(chǎn)生驚人的清洗效果。
 
  4、真空蒸汽清洗+真空干燥系統(tǒng),利用蒸汽洗凈做養(yǎng)護(hù),實(shí)現(xiàn)清洗效果。
 
  5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加熱的全過程在減壓真空中進(jìn)行,更有效地確保了安全性。
 
  6、防爆配件及簡潔加熱系統(tǒng),進(jìn)一步提高安全度。
 
  二、硅片清洗機(jī)的操作說明
 
  1、欲清洗工件放入料框內(nèi)專用固定夾內(nèi),由人工將料框放上入料口,等工位機(jī)械手自動將料框送入清洗機(jī)本體,上下提升機(jī)構(gòu)依照PLC程序?qū)⒘峡虬崴偷较鄳?yīng)高度位置。
 
  2、完成對工件的清洗、噴淋、漂洗、慢提拉脫水和熱風(fēng)干燥后、送至清洗機(jī)出口,運(yùn)送到卸料臺出料,等工位機(jī)械手由氣缸橫向驅(qū)動,直線滑軌導(dǎo)向。
 
  3、上下提升由馬達(dá)驅(qū)動,直線導(dǎo)軸導(dǎo)向,慢提拉提升機(jī)構(gòu)由變頻馬達(dá)驅(qū)動,直線滑塊導(dǎo)向,上下料由上下提升機(jī)構(gòu)獨(dú)立完成,采用觸摸屏操作系統(tǒng),有手動和自動切換開關(guān)及有關(guān)操作按鈕,能對整個運(yùn)行過程實(shí)行控制。
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