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Q150微波等離子去膠清洗機(jī)

Q150微波等離子去膠清洗機(jī):Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng),可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。
典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2023-11-13
  • 訪  問  量:2239
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產(chǎn)品詳情

微波等離子清洗去膠技術(shù)

Q150微波等離子去膠清洗機(jī)概述:Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng),可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。

Q150微波等離子去膠清洗機(jī)工藝參數(shù):

  • 材質(zhì):石英玻璃
  • 容積:6公升
  • 腔體尺寸:直徑150mm,深度260mm
  • 腔體后部:鋁
  • 腔門:鋁質(zhì)材料制作,抽拉式支撐架跟前門相連,便于手動(dòng)放片;
  • 氣體分布:前門擴(kuò)散
  • 觀察視窗:防紫外及微波
  • 支撐架:鋁質(zhì)材料, 
  • 真空連接:DN25 ISO-KF
  • 壓力控制:Pirani,1-100Pa
  • 真空泵:推薦25m3/h
  • 真空閥:電子氣動(dòng)閥,DN25 ISO-KF
  • 真空密封:硅樹脂
  • 氣體供應(yīng):
  • 氣體通道:1路數(shù)字MFC,裝有電磁閥,500sccm(N2校準(zhǔn)),1/4" Swagelok接頭
  • 卸壓:電磁閥,1/4" Swagelok接頭
  • 功率:2.45GHz,50-600W連續(xù)可調(diào)
  • 耦合:微波天線,鋁質(zhì)諧振器,腔體內(nèi)無電極

系統(tǒng)控制:

  • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
  • 7”觸摸屏、圖形用戶界面
  • Windows Office兼容
  • 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息,處理數(shù)據(jù)輸出
  • 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
  • 自動(dòng)或手動(dòng)操作
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