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產(chǎn)品中心/ products
光學(xué)鍍膜設(shè)備
聯(lián)系電話:021-62318025
光學(xué)鍍膜設(shè)備概述:NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù),在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進(jìn)行表面涂覆,整個(gè)過程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用,同時(shí)具備各自的自動上/下載片功能。
應(yīng)用:
光學(xué)涂層
濺射
離子束輔助沉積
離子束刻蝕清洗
離子束輔助反應(yīng)刻蝕
紅外涂層
表面處理
產(chǎn)品特點(diǎn):
射頻偏壓樣品臺
膜厚監(jiān)測儀
極限真空5x10-7Torr
高精度及高重復(fù)性
高品質(zhì)膜層
原子級的潔凈表面
原子級清洗和拋光
通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動控制
自動上下載片
兩個(gè)腔體之間自動傳送
菜單驅(qū)動,4級密碼訪問保護(hù)
完整的安全聯(lián)鎖
占地面積46"D x 44"W
光學(xué)鍍膜設(shè)備選配項(xiàng):
向下/向上濺射
共濺射
DC,RF以及脈沖電源
離子束輔助沉積
電子束源
等離子源