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技術(shù)文章/ article

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  • 2024-01-25

    微波等離子去膠機(jī)是一種先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備,用于去除晶圓表面或器件上的光刻膠。在半導(dǎo)體制造過程中,光刻是一個(gè)關(guān)鍵步驟,它涉及到在晶圓上涂覆一層光敏材料(光刻膠),然后通過曝光和顯影來形成所需的圖案。完成這些步驟后,必須去除剩余的光刻膠,以進(jìn)行后續(xù)的加工步驟。傳統(tǒng)的去膠方法包括濕化學(xué)清洗和等離子體灰化,但這些方法可能不夠有效、不夠環(huán)保,或者對(duì)晶圓造成損害。微波等離子去膠機(jī)的優(yōu)勢(shì):1.高效率:能夠在較短的時(shí)間內(nèi)處理大量晶圓,提高生產(chǎn)效率。2.環(huán)境友好:相比濕化學(xué)方法,微波等離子去...

  • 2023-12-25

    微波等離子清洗機(jī)是一種利用微波等離子技術(shù)進(jìn)行清洗的設(shè)備。它將高頻微波信號(hào)通過導(dǎo)波管送入到介質(zhì)內(nèi),產(chǎn)生高溫、高壓等離子體,利用等離子體的化學(xué)反應(yīng)和物理作用對(duì)被清洗物體表面進(jìn)行去污、去油、去氧化等處理。主要由微波發(fā)生器、微波導(dǎo)管、等離子體室、工件臺(tái)等部分組成。微波發(fā)生器產(chǎn)生高頻微波信號(hào),經(jīng)過微波導(dǎo)管傳遞到等離子體室內(nèi),激發(fā)氣體分子產(chǎn)生等離子體。等離子體室內(nèi)含有惰性氣體或活性氣體,當(dāng)高能粒子與物體表面發(fā)生碰撞時(shí),可使污垢、油脂等雜質(zhì)氧化分解,達(dá)到清洗效果。微波等離子清洗機(jī)的特點(diǎn)和優(yōu)...

  • 2023-11-22

    熱真空試驗(yàn)箱是一種用于模擬高溫和低壓環(huán)境的設(shè)備,主要用于對(duì)產(chǎn)品在高溫和真空條件下的性能進(jìn)行測(cè)試和評(píng)估。熱真空試驗(yàn)箱的特點(diǎn):1.高溫范圍廣:具有廣泛的溫度范圍,通??梢愿采w-70°C至+150°C甚至更高的溫度范圍,能夠滿足不同產(chǎn)品的測(cè)試需求。2.真空度高:配備有高性能的真空系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)高真空狀態(tài),通??梢赃_(dá)到10^-5Pa的真空度,保證了試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。3.穩(wěn)定性好:采用先進(jìn)的控制系統(tǒng)和優(yōu)質(zhì)的材料制造,具有良好的穩(wěn)定性和可靠性,能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行。4.操作簡(jiǎn)便:配備先進(jìn)的觸...

  • 2023-10-26

    微波等離子去膠機(jī)是一種新型的去膠設(shè)備,采用微波等離子技術(shù),具有高效、快速、環(huán)保、安全、適用性廣等優(yōu)點(diǎn)。在汽車制造、電子制造、醫(yī)療器械制造、環(huán)保領(lǐng)域等多個(gè)領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。微波等離子去膠機(jī)具有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn):1.高效:采用微波等離子技術(shù),能夠快速、高效地去除各種材料表面的膠層。相比傳統(tǒng)的去膠方法,具有更高的效率和更短的處理時(shí)間。2.環(huán)保:不需要使用化學(xué)試劑,只需使用氣體即可實(shí)現(xiàn)去膠。因此,其對(duì)環(huán)境的影響較小,符合環(huán)保要求。3.安全:采用微波等離子技術(shù),不會(huì)產(chǎn)生明火和爆炸等危險(xiǎn)...

  • 2023-09-22

    微波等離子去膠機(jī)是一種先進(jìn)的設(shè)備,用于去除材料表面的膠粘劑。它利用微波能量和等離子體技術(shù),能夠高效、快速地去除各種膠粘劑,廣泛應(yīng)用于制造業(yè)和研發(fā)領(lǐng)域。工作原理基于微波能量和等離子體的相互作用。簡(jiǎn)單來說,當(dāng)微波能量通過微波發(fā)生器傳輸?shù)教幚硎視r(shí),膠粘劑會(huì)被加熱并分解成氣體狀態(tài)。隨后,等離子體技術(shù)將產(chǎn)生的氣體進(jìn)行電離,形成高能離子束。這些離子束能夠擊打在材料表面上的膠粘劑上,使其迅速分解和脫落。最終,經(jīng)過處理的材料表面變得干凈無膠粘物質(zhì)。微波等離子去膠機(jī)的工作方式:1.設(shè)置處理參數(shù)...

  • 2023-08-25

    光學(xué)鍍膜設(shè)備是一種用于在光學(xué)元件表面制備薄膜的設(shè)備。它在各種光學(xué)應(yīng)用中起著至關(guān)重要的作用,包括反射減弱、抗反射涂層、濾光器和分束器等。光學(xué)鍍膜設(shè)備主要由以下組成部分構(gòu)成:真空腔體、源材料、光學(xué)襯底、鍍膜材料、輔助設(shè)備以及控制系統(tǒng)。1.真空腔體是核心部分。它提供了一個(gè)高真空環(huán)境,以避免源材料和鍍膜材料的污染,并確保薄膜的均勻性和質(zhì)量。真空腔體通常采用具有良好密封性能的金屬或玻璃材料制成,以確保適當(dāng)?shù)恼婵斩取?.源材料是用于生成薄膜的原始材料。它可以是金屬、氧化物、氟化物等,根據(jù)...

  • 2023-07-20

    微波等離子清洗機(jī)是一種先進(jìn)的清洗設(shè)備,利用微波和等離子技術(shù)來高效而清潔物體表面。它在許多領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用,包括電子制造、醫(yī)療器械、航空航天等行業(yè)。工作原理是將被清洗的物體放置在一個(gè)封閉的容器內(nèi),并向容器內(nèi)注入特定氣體(如氫、氬等)。然后,通過微波加熱產(chǎn)生高溫和高壓條件,使氣體分解成等離子體。這些等離子體具有高能量和強(qiáng)氧化性,能夠有效地去除物體表面的污垢和污染物。微波等離子清洗機(jī)具有以下幾個(gè)顯著的優(yōu)點(diǎn):1.高效清洗:微波加熱可以迅速提高物體表面的溫度,加速化學(xué)反應(yīng)速率,從而...

  • 2023-06-20

    掩模板清洗機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的設(shè)備,主要用于清洗掩膜板以保證芯片生產(chǎn)的質(zhì)量。掩膜板是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的一個(gè)關(guān)鍵工具,它用來將電路圖案轉(zhuǎn)移到硅晶圓上。在使用掩膜板之前必須對(duì)其進(jìn)行清洗,以確保其表面沒有污垢或雜質(zhì),這可以防止電路圖案被污染或污損?;驹硎抢枚喾N化學(xué)物質(zhì)和機(jī)械力來清洗掩膜板。它由多個(gè)步驟組成,包括預(yù)處理、清潔、漂洗和干燥等。首先,在預(yù)處理步驟中,掩膜板被暴露在氧化劑中以去除有機(jī)污染物。然后,掩膜板被移動(dòng)到清潔室,在清潔室中,掩膜板被浸泡在一種酸性或堿性...

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