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Q240微波等離子去膠清洗機(jī)

Q240微波等離子去膠清洗機(jī)：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。
典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2023-11-13
  • 訪  問  量：2076
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產(chǎn)品詳情

微波等離子清洗去膠技術(shù)

Q240微波等離子去膠清洗機(jī)概述：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。

Q240微波等離子去膠清洗機(jī)工藝參數(shù)：

  • 材質(zhì)：石英玻璃
  • 容積：21公升
  • 腔體尺寸：直徑240mm，深度460mm
  • 腔體后部：鋁
  • 腔門：鋁質(zhì)材料制作，抽拉式支撐架跟前門相連，便于手動(dòng)放片；
  • 氣體分布：前門擴(kuò)散
  • 觀察視窗：防紫外及微波
  • 支撐架：鋁質(zhì)材料， 
  • 真空連接：DN40 ISO-KF
  • 壓力控制：Pirani，1-100Pa
  • 真空泵：推薦35m3/h
  • 真空閥：電子氣動(dòng)閥，DN40 ISO-KF
  • 真空密封：硅樹脂
  • 氣體供應(yīng)：
  • 氣體通道：3路數(shù)字MFC，裝有電磁閥，1000/500/200sccm（N2校準(zhǔn)），1/4" Swagelok接頭
  • 卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
  • 功率：2.45GHz，50-1200W連續(xù)可調(diào)
  • 耦合：微波天線，鋁質(zhì)諧振器，腔體內(nèi)無電極

系統(tǒng)控制：

  • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
  • 10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
  • Windows Office兼容
  • 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
  • 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測
  • 自動(dòng)或手動(dòng)操作
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